課程說明
微電機電系統（MEMS）與微製感測器與致動器之物理設計。薄膜與厚膜製程及微加工技術概要以提供製造背景。元件設計包括壓阻、壓電、電磁、熱、光學與化學型感測器與致動器。
原文參考文本
Physical design of microelectromechanical systems (MEMS) and microfabricated sensors and actuators. An overview of thin and thick film processes and micromachining techniques will provide fabrication background. Device design including piezoresistive, piezoelectric, electromagnetic, thermal, optical, and chemical sensors and actuators.
來源與參考
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來源參考 : https://calendar.carleton.ca/grad/courses/ELEC/