説明
マイクロ電気機械システム（MEMS）および微細加工されたセンサおよびアクチュエータの物理設計。薄膜および厚膜プロセスおよびマイクロマシニング技術の概要により製造の背景を提供。圧電抵抗、圧電、電磁、熱、光学、化学センサおよびアクチュエータを含むデバイス設計。
原語による参照テキスト
Physical design of microelectromechanical systems (MEMS) and microfabricated sensors and actuators. An overview of thin and thick film processes and micromachining techniques will provide fabrication background. Device design including piezoresistive, piezoelectric, electromagnetic, thermal, optical, and chemical sensors and actuators.
出典と参照
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出典の参照 : https://calendar.carleton.ca/grad/courses/ELEC/