Beskrivelse
Fysisk design av mikroelektromekaniske systemer (MEMS) og mikro-fabrikerte sensorer og aktuatorer. En oversikt over tynne og tykke filmprosesser og mikromaskineringsteknikker gir fabrikasjonsbakgrunn. Enhetsdesign inkludert piezoresistive, piezoelektriske, elektromagnetiske, termiske, optiske og kjemiske sensorer og aktuatorer.
Referansetekst i originalspråket
Physical design of microelectromechanical systems (MEMS) and microfabricated sensors and actuators. An overview of thin and thick film processes and micromachining techniques will provide fabrication background. Device design including piezoresistive, piezoelectric, electromagnetic, thermal, optical, and chemical sensors and actuators.
Kilder og referanser
Datoer og kilder beholdes for å hjelpe deg å verifisere opplysningene. Oversettelsene tilbys for å lette lesing; den offisielle kilden er referansen for krav og betingelser.
Kildereferanse : https://calendar.carleton.ca/grad/courses/ELEC/