설명
마이크로전자기계시스템(MEMS) 및 미세가공 센서와 액추에이터의 물리적 설계. 박막 및 두꺼운 막 공정과 마이크로머시닝 기술에 대한 개관으로 제작 배경 제공. 압저저항, 압전, 전자기, 열, 광 및 화학 센서 및 액추에이터 설계.
원문 참조 텍스트
Physical design of microelectromechanical systems (MEMS) and microfabricated sensors and actuators. An overview of thin and thick film processes and micromachining techniques will provide fabrication background. Device design including piezoresistive, piezoelectric, electromagnetic, thermal, optical, and chemical sensors and actuators.
출처 및 참고문헌
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출처 참조 : https://calendar.carleton.ca/grad/courses/ELEC/