Description
Conception physique de systèmes microélectromécaniques (MEMS) et de capteurs et actionneurs microfabriqués. Un aperçu des procédés de films minces et épais et des techniques de micromachinage fournira le contexte de fabrication. Conception de dispositifs incluant capteurs et actionneurs piézorésistifs, piézoélectriques, électromagnétiques, thermiques, optiques et chimiques.
Texte de référence dans sa langue d’origine
Physical design of microelectromechanical systems (MEMS) and microfabricated sensors and actuators. An overview of thin and thick film processes and micromachining techniques will provide fabrication background. Device design including piezoresistive, piezoelectric, electromagnetic, thermal, optical, and chemical sensors and actuators.
Sources et références
Les dates et les sources sont conservées pour vous aider à vérifier les renseignements. Les traductions sont proposées pour faciliter la lecture; la source officielle fait référence pour les conditions et les exigences.
Référence source : https://calendar.carleton.ca/grad/courses/ELEC/