Mô tả
Thiết kế vật lý của hệ cơ điện vi (MEMS) và cảm biến/bộ kích hoạt chế tạo vi. Tổng quan về các quá trình mỏng và dày lớp (thin và thick film) và kỹ thuật gia công vi (micromachining) sẽ cung cấp nền tảng chế tạo. Thiết kế thiết bị bao gồm cảm biến/bộ kích hoạt pizođiện, pizođộ (piezoresistive), điện từ, nhiệt, quang và hóa học.
Văn bản tham chiếu bằng ngôn ngữ gốc
Physical design of microelectromechanical systems (MEMS) and microfabricated sensors and actuators. An overview of thin and thick film processes and micromachining techniques will provide fabrication background. Device design including piezoresistive, piezoelectric, electromagnetic, thermal, optical, and chemical sensors and actuators.
Nguồn và tham khảo
Ngày và nguồn được giữ lại để giúp bạn kiểm tra thông tin. Các bản dịch được cung cấp để dễ đọc; nguồn chính thức là tham chiếu cho các điều kiện và yêu cầu.
Nguồn tham khảo : https://calendar.carleton.ca/grad/courses/ELEC/