คำอธิบาย
การออกแบบเชิงกายภาพของระบบไมโครอิเล็กทรอนิกส์เชิงกล (MEMS) และเซ็นเซอร์และตัวกระตุ้นที่สร้างด้วยการประดิษฐ์ระดับไมโคร ภาพรวมของกระบวนการฟิล์มบางและฟิล์มหนาและเทคนิคไมโครแมชชีนนิ่งจะให้พื้นฐานการผลิต การออกแบบอุปกรณ์รวมถึงเซ็นเซอร์และตัวกระตุ้นแบบพายโซเรสิสทีฟ พายโซอิเล็กทริก อิเล็กโตรแมกเนติก ความร้อน ทางแสง และเคมี
ข้อความอ้างอิงในภาษาต้นฉบับ
Physical design of microelectromechanical systems (MEMS) and microfabricated sensors and actuators. An overview of thin and thick film processes and micromachining techniques will provide fabrication background. Device design including piezoresistive, piezoelectric, electromagnetic, thermal, optical, and chemical sensors and actuators.
แหล่งที่มาและอ้างอิง
วันที่และแหล่งที่มาถูกเก็บไว้เพื่อช่วยให้คุณตรวจสอบข้อมูล การแปลเสนอเพื่ออำนวยความสะดวกในการอ่าน แหล่งทางการเป็นที่อ้างอิงสำหรับเงื่อนไขและข้อกำหนด
แหล่งอ้างอิง : https://calendar.carleton.ca/grad/courses/ELEC/