الوصف
التصميم الفيزيائي للأنظمة الميكروكهروميكانيكية (MEMS) وأجهزة الاستشعار والمشغلات المصغّرة المُصنَّعة. نظرة عامة على عمليات الأغشية الرقيقة والسميكة وتقنيات الميكروتصنيع لتوفير خلفية التصنيع. تصميم الأجهزة بما في ذلك حساسات ومشغلات بيزوريزيستيفية، بيزوالكهربائية، كهرومغناطيسية، حرارية، بصرية وكيميائية.
نص المرجع بلغته الأصلية
Physical design of microelectromechanical systems (MEMS) and microfabricated sensors and actuators. An overview of thin and thick film processes and micromachining techniques will provide fabrication background. Device design including piezoresistive, piezoelectric, electromagnetic, thermal, optical, and chemical sensors and actuators.
المصادر والمراجع
يتم الاحتفاظ بالتواريخ والمصادر لمساعدتك في التحقق من المعلومات. تُعرض ترجمات لتسهيل القراءة؛ المصدر الرسمي هو المرجع للشروط والمتطلبات.
مرجع المصدر : https://calendar.carleton.ca/grad/courses/ELEC/