Açıklama
Mikroelektromekanik sistemlerin (MEMS) ve mikroişlenmiş sensör ve aktüatörlerin fiziksel tasarımı. İmalat arka planı sağlayacak ince ve kalın film süreçleri ile mikroişleme tekniklerine genel bakış. Piezorezistif, piezoelektrik, elektromanyetik, termal, optik ve kimyasal sensörler ve aktüatörler dahil cihaz tasarımı.
Kaynak metin orijinal dilinde
Physical design of microelectromechanical systems (MEMS) and microfabricated sensors and actuators. An overview of thin and thick film processes and micromachining techniques will provide fabrication background. Device design including piezoresistive, piezoelectric, electromagnetic, thermal, optical, and chemical sensors and actuators.
Kaynaklar ve referanslar
Tarih ve kaynaklar bilgileri doğrulamanıza yardımcı olmak için saklanır. Okumayı kolaylaştırmak için çeviriler sunulmuştur; koşullar ve gereksinimler için resmi kaynak esas alınır.
Kaynak referans : https://calendar.carleton.ca/grad/courses/ELEC/