Описание
Физическое проектирование микромеханических и микроэлектромеханических систем (MEMS) и микроизготовленных датчиков и исполнительных механизмов. Обзор тонкоплёночных и толстоплёночных процессов и техник микромеханической обработки для обеспечения производственного фона. Проектирование устройств, включая пьезорезистивные, пьезоэлектрические, электромагнитные, тепловые, оптические и химические датчики и приводы.
Текст источника на языке оригинала
Physical design of microelectromechanical systems (MEMS) and microfabricated sensors and actuators. An overview of thin and thick film processes and micromachining techniques will provide fabrication background. Device design including piezoresistive, piezoelectric, electromagnetic, thermal, optical, and chemical sensors and actuators.
Источники и ссылки
Даты и источники сохраняются, чтобы помочь вам проверить сведения. Переводы предлагаются для удобства чтения; официальным источником для условий и требований является оригинал.
Исходная ссылка : https://calendar.carleton.ca/grad/courses/ELEC/