Deskripsi
Desain fisik sistem mikromekanikal (MEMS) dan sensor serta aktuator mikro-fabrikasi. Tinjauan proses film tipis dan tebal serta teknik micromachining akan memberikan latar belakang fabrikasi. Desain perangkat termasuk sensor dan aktuator piezoresistif, piezoelektrik, elektromagnetik, termal, optik, dan kimia.
Teks rujukan dalam bahasa aslinya
Physical design of microelectromechanical systems (MEMS) and microfabricated sensors and actuators. An overview of thin and thick film processes and micromachining techniques will provide fabrication background. Device design including piezoresistive, piezoelectric, electromagnetic, thermal, optical, and chemical sensors and actuators.
Sumber dan referensi
Tanggal dan sumber disimpan untuk membantu Anda memverifikasi informasi. Terjemahan disediakan untuk memudahkan pembacaan; sumber resmi menjadi rujukan untuk syarat dan ketentuan.
Referensi sumber : https://calendar.carleton.ca/grad/courses/ELEC/