Descrição
Projeto físico de sistemas microeletromecânicos (MEMS) e sensores e atuadores microfabricados. Uma visão geral de processos de filme fino e grosso e técnicas de micromecanização fornecerá base de fabricação. Projeto de dispositivos incluindo sensores e atuadores piezoresistivos, piezoelétricos, eletromagnéticos, térmicos, ópticos e químicos.
Texto de referência na sua língua de origem
Physical design of microelectromechanical systems (MEMS) and microfabricated sensors and actuators. An overview of thin and thick film processes and micromachining techniques will provide fabrication background. Device design including piezoresistive, piezoelectric, electromagnetic, thermal, optical, and chemical sensors and actuators.
Fontes e referências
As datas e as fontes são mantidas para ajudá-lo a verificar os dados. As traduções são propostas para facilitar a leitura; a fonte oficial é a referência para condições e exigências.
Fonte de referência : https://calendar.carleton.ca/grad/courses/ELEC/