Descripción
Diseño físico de sistemas microelectromecánicos (MEMS) y sensores y actuadores microfabricados. Una visión general de procesos de película fina y gruesa y técnicas de micromecanizado proporcionará antecedentes de fabricación. Diseño de dispositivos incluyendo sensores y actuadores piezorresistivos, piezoeléctricos, electromagnéticos, térmicos, ópticos y químicos.
Texto de referencia en su idioma de origen
Physical design of microelectromechanical systems (MEMS) and microfabricated sensors and actuators. An overview of thin and thick film processes and micromachining techniques will provide fabrication background. Device design including piezoresistive, piezoelectric, electromagnetic, thermal, optical, and chemical sensors and actuators.
Fuentes y referencias
Se conservan las fechas y las fuentes para ayudarle a verificar la información. Las traducciones se proponen para facilitar la lectura; la fuente oficial es la referencia para las condiciones y los requisitos.
Referencia de la fuente : https://calendar.carleton.ca/grad/courses/ELEC/